NIBE ist ein führender Hersteller von Systemen für die intelligente Heizung und Steuerung in der Halbleiterausrüstungsindustrie. Die NIBE-Tochtergesellschaft Therm-X arbeitet mit Kunden in der Halbleiterbranche, die Funkfrequenzleistung bei der Herstellung von Halbleiterscheiben, den Wafers, einsetzen. Dabei werden im Herstellungsprozess äußerst hohe Anforderungen an gleichmäßige Qualität und damit an die Steuerung gestellt. Die Mehr­punktüberwachung von Temperatur, Druck und Schwingungen trägt mithilfe der faseroptischen Technik von Therm-X zur Sicherstellung der Steuerung bei.

Die Herausforderung besteht darin, die Mehrpunktmessung mit einer gegenüber Funkfrequenzenergie unempfindlichen Ausrüstung durchführen zu können. Die faser­optischen Sensoren von Therm-X messen mithilfe von Licht, das über Faser auf den Wafer gerichtet wird, die Wellenlänge des reflektierten Lichtes und erhalten damit die Messdaten. Die Sensoren können bis zu 50 Punkte sowohl innerhalb und außerhalb der Prozesskammer messen und helfen Kunden dabei, ihre Prozesse besser zu verstehen und zu steuern.