NIBE är en av de ledande tillverkarna av system för intelligent uppvärmning och kontroll för halvledarutrustnings- industrin. NIBEs dotterbolag Therm-X arbetar med kunder inom halvledarindustrin som använder radiofrekvenskraft i tillverkning av halvledarplattor (wafers). Oerhört stora krav på jämn kvalitet och därmed kontroll ställs på tillverkningsprocessen. En flerpunktsövervakning av temperatur, tryck och vibrationer med hjälp av fiberoptisk teknik från Therm-X bidrar till att säkerställa kontrollen.

Utmaningen är att kunna göra flerpunktsmätning med en utrustning som är okänslig för radiofrekvensenergin. Therm-X fiberoptiska sensorer mäter med hjälp av ljus via fiber som riktas mot en wafer där det reflekterade ljusets våglängd ger mätdata. Sensorerna kan mäta upp mot 50 punkter både inom och utanför processkammaren för att hjälpa kunden att bättre förstå och kontrollera sin process.